Data di deposito: 01/08/2007
Ambito territoriale di tutela: Italia
Inventori: Dott. Leonardo Setti, Dott. Alessandro Fraleoni Morgera, Dott. Ivan Mencarelli (Dipartimento di Chimica Industriale e dei Materiali)
Stato: disponibile per accordi di licenza
Background
L'invenzione proposta rientra nel settore della trasmissione di energia nelle bande visibili e solari dello spettro elettromagnetico, mediante l'uso di conduttori trasparenti.
I conduttori trasparenti sono film sottili elettricamente conduttivi che sono capaci di trasmettere una percentuale sostanziale di energia nelle bande solari. Tali conduttori sono utilizzati nei dispositivi fotovoltaici e nella maggior parte dei display sia di tipo emissivo (generatori di luce) che di tipo passivo.
I conduttori attualmente disponibili sono di due tipi:
- conduttori metallici molto sottili (in argento e oro
- conduttori metallici di ossidi metallici (Trasparent Conductive Metal Oxide - TCO).
Esempi di TCO utilizzati per applicazioni su display sono: Ossido di Zinco, Ossidi di Indio e Stagno (ITO) e Ossidi di Stagno (TO).
Le attuali tecniche di etching, come ad es. le tecniche dry/wet ed elettrolitiche (che impiegano il laser per la rimozione), sono generalmente lente e costose.
Descrizione
La presente invenzione riguarda un metodo innovativo per realizzare l'etching (corrosione a temperature moderatamente elevate) di ossidi metallici deposti in strato sottile ed in particolare per quelli costituiti da ossidi di indio e stagno (ITO, Indium Tin Oxide).
Vantaggi
Il presente metodo elimina la fase del bagno elettrolitico, (presentandosi adatto anche per i dispositivi optoelettronici), permette di adeguare linee di produzione già esistenti in modo semplice ed economico, utilizzando una tecnologia a ridotto impatto ambientale.
Keywords
TCO (ossidi metallici conduttivi trasparenti); etching elettrolitico; etching in fase umida; dispositivi elettronici ed optoelettronici; dispositivi fotovoltaici; LEDs.